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1、前端配有预热炉，可用于蒸发固态源
2、加热炉选用滑轨炉，可实现快速升温/降温，缩短实验时间
3、法兰端采用卡箍密封，这样就使进料出料更加的方便。
4、进气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计，流量计的量程也可以选择不同的配置，真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。
二维材料生长CVD系统
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二维材料生长CVD系统
详细信息 主要特点：
1、前端配有预热炉，可用于蒸发固态源 2、加热炉选用滑轨炉，可实现快速升温/降温，缩短实验时间 3、法兰端采用卡箍密封，这样就使进料出料更加的方便。 4、进气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计，流量计的量程也可以选择不同的配置，真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。
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